4路质子混气管式PECVD系统(带滑轨、labview)
关键字:
带滑轨,Labview软件集成控制
型号:
OTF-1200X-50-4CLV-PE
产品概述:
为使化学反应能在较低的温度下进行,常利用等离子体的活性来促进反应,这种方法称为等离子体增强化学气相沉积法(PECVD)。加热炉设备的内炉膛表面涂有美国进口的高温氧化铝涂层,可提高设备的加热效率,同时也可延长设备的使用寿命。
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设备名称

4路质子混气管式PECVD系统—OTF-1200X-50-4CLV-PE

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外形尺寸

长*宽*高 2080mm*700mm*1520mm

11.jpg

炉管规格

外径: 100mm 

内径: 96mm×长: 1800 mm

加热炉主要参数

·最高温度: 1200℃

·额定工作温度: 1100℃

·推荐升温速率:≤10℃/min

·加热区长度: L总:440mm(双温区包括隔环)

              温区一:200mm

              温区二:200mm

·加热炉额定功率:3KW

·滑动方式:电动控制

·滑动最大行程:600mm

·电压:单相AC 208 - 240V, 50HZ

温控系统

 欧陆EPC3000仪表

·模糊PID控制和自整定调节功能

·智能化24段可编程控制

·带过电流过电压保护 漏电保护

电气元件及电缆,冷压端子均符合UL认证标准

·控温精度: ±0.1℃

·控温:K型热电偶两根

·通讯协议:modbus RTU

软件控制

· 可视化运行状态监控

· 温控系统,气路系统,真空系统,射频系统,滑动炉体,开合炉体,压力控制,全自动化,

· 数据记录、过程记录集成一体

· 预制工作流程,一键自动运行

· 具有恒压功能,可以设定气体流量和恒定压力

压力控制:采用TRP-12(抽速3L/s)的双旋真空泵,在总进气量为100-150sccm,管内压力为 100-130pa,如总进气量高于150sccm时,请更换抽速更高的泵,测试为总进气量为1L/min(满足四路质量流量计全开状态时),使用VRD-60泵(抽速18L/s),最高真空为120-130pa(满足起辉条件),可在任意供气量下设定任意气压值(该气压值需大于搭配泵体的最大真空值),气压值可自动稳定

新式快捷法兰

可方便快速取放物料

射频电源

·500W射频电源

·0--500W可调(稳定性±1%)

·射频频率:13.56MHZ

·自动匹配 风冷

·噪音<50dB

·输入电压:AC108-250V

供气系统

·四通道质子流量计控制系统可实现气体流量的精确控制(精确度:±0.02%)

·流量范围:一路0-100 sccm 

            二路0-200 sccm 

            三路0-200 sccm 

            四路0-500 sccm 


注:接入供气系统的气源需搭配减压阀,将气压降至2mpa以下

真空系统

·搭配TRP-12的双旋真空泵(抽速3L/s)(总进气量小于150sccm,该泵可以达到等离子发生真空度)

·搭配TRP-60双旋真空泵(抽速10L/s)(总进气量1L/min,该泵可以达到等离子发生真空度)

·KF25卡箍及波纹管用于连接法兰与真空泵

·真空度可达10-2Torr

备注

注:采用氩气高于射频功率200w情况下,需特殊说明,设备需要特殊改造及测试,(有法兰过热情况)

适用于大流量进料的PECVD研究.jpg

特别声明:

1. 以上所有实验仅为初步探究,仅供参考。由于我们水平有限,错误疏漏之处欢迎指出,我们非常期待您的建议。

2. 欢迎您提出其他实验思路,我们来验证。

3. 以上实验案例及数据只针对科晶设备,不具有普遍性。

4. 因为涉及保密问题,以上数据仅为部分数据,欢迎老师与我们联系,我们非常期待和您共同探讨设备的应用技术。



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