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加热方式: 电阻加热红外灯管加热感应加热微波加热

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加热形式: 常规炉立式箱管混合式回转炉

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加热温度: 300-1200 1250-1500 1600-2000

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加热温区: 单温区双温区三温区多温区感应加热专用

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管径: ф‍25 ф‍50 ф‍60 ф‍80 ф‍100 ф‍120及以上

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滑动式三温区管式炉PECVD系统

关键字：: 滑动式三温区
型号：: OTF-1200X-50-III-S-4CV-PE-SL
产品概述：: OTF-1200X-50-III-S-4CV-PE-SL 是一款滑动式三温区管式炉PECVD 系统。该系统包含等离子射频电源，50OD*2100mm L的滑动式单温区管式炉，4通道质量流量供气系统和机械泵机组，可用于生长纳米线或石墨烯及薄膜材料领域。

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技术参数产品视频实验案例警示/应用提示配件详情

设备名称

滑动式三温区管式炉PECVD系统 OTF-1200X-50-III-S-4CV-PE-SL

产品特点

·射频电源可实现等离子增强从而显著降低实验温度；

·滑轨式可快速加热和快速冷却；

·三个加热区，温度梯度最大可达200℃

·可在温度范围较大的条件下制备材料，如碳、ZnO纳米管或纳米线及单层石墨烯等。

加热炉参数

·电源：电压要求：AC 208-240V 单相, 50/60 Hz

·功率4.8KW

·最高温度：1200℃（小于0.5小时）

·连续工作温度：1100℃

·加热区长度：600mm，（三温区：150mm+300mm+150mm)

·最大升温速率: ≤ 20 °C/min（加热元件寿命原因建议升温速率）

·炉体开启式设计，以达到对样品快速降温，方便更换炉管。

温控系统

·包含一款858P型温度控制器(也可选配欧陆仪表恒温精度可达±0.1℃）

·PID自动控温系统

·智能化50段可编程控制

·控温精度：±1℃

·默认DB9 PC通信连接端口

·RS485通讯接口

·PC控制软件：可选购PC控温软件，可用电脑控制炉体和记录数据

射频电源

项目	100W射频电源	300W射频电源	500W射频电源
输出功率	0-100W可调（稳定性：±1%）	0-300W可调（稳定性：±1%）	0-500W可调（稳定性：±1%）
射频频率	13.56 MHz （稳定性：±0.5%）	13.56 MHz （稳定性：±0.5%）	13.56 MHz （稳定性：±0.5%）
匹配	自动匹配	自动匹配	自动匹配
噪音	＜50dB	＜50dB	＜50dB
冷却方式	风冷	风冷	风冷
输入电压	AC180-250V	AC180-250V	AC180-250V