| 电源 | ·总功率：3000W ·208-240VAC, 单相, 50/60Hz |
| 微波 | ·频率：2.45 GHz ±25 MHz ·输出功率：1400W ·微波泄露率：≤ 3 mW/cm²（1米范围内） ·一个数字功率调整器用于调节功率输出（10-100%） |
| 加热模块和炉管 | ·多孔SIC辅助加热，直径80mm,安装在氧化铝纤维保温层内（图1） ·加热模块安装在微波腔体内 ·Φ50mm的石英炉管，中间焊接有石英扬料板（图2）
图1 图2 |
| 密封法兰&真空度 | ·一对真空密封法兰安装在石英炉管两端 ·KF25真空接口和1/4英寸进气和出气口，不锈钢针阀安装在法兰上（图1） ·一个数显型防腐真空计安装在法兰上，用于显示炉管内真空度（图2） ·真空度：10-2torr（采用干泵） 10-5torr(采用分子泵系统） ·设备中不包含真空泵，需要额外花费用购买，对于CVD实验建议选用干泵（图3）
图1 图2 图3 |
| 直连式旋转通气接口&转速 | ·2个直连式转动通气接头安装在两端法兰上，可在炉管一边转动时一边通入气体。 ·转动速度：采用一个直流电机驱动炉管转动，转速1-5RPM ·通气接口规格：Φ6.35mm
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| 工作温度 | ·最高工作温度：1100℃（≤2小时） ·连续工作温度：1000℃ ·加热速率：1~20℃/min (可设置） ·仅仅通过微波约可以加热温度为750℃ |
| 温度控制器 | ·可设置30段温度段：加热速率，保温时间，降温速率 ·SCR温度控制 ·超温和断偶保护 ·控温精度：±1℃ ·一根K型热偶插入到炉管内部
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| 净重 | ·50kg |
| 设备尺寸 | ·微波发生器：560(L) x 410(W) x 340(H) mm ·设备总深度（包括炉管和法兰）：780mm ·控制器：600(L) x 520(W) x 265(H) mm |
| 质保期 | ·一年质保期，终生维护 ·耗材：坩埚，炉管。加热元件和密封圈不在质保期内 |
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皖公网安备 34012302000974号
