如何选择管式炉
连续工作温度是 1600°C
如有不清楚的地方，请联系科晶销售
http://www.kjmti.com/contact/columnsId=9 0&&i=26&comContentId=26.html
a. 250 ~ 1250°C Fe-Cr-Al 或 Ni-Cr-Al 合金加热元件 或 红外灯管加热元件；
采用 K 型热电偶。
例如： 科晶 KSL-1200X-S
采用电阻丝加热，K 型热电偶测温，最高加热温度 1200°C，长时间使用 1100°C。
b.1300 ~ 1600°C 碳化硅加热元件http://www.kjmti.com/productsA_detail/productId=384.html 采用 S 型热电偶
c.1600 ~ 1800°C MoSi2 加热元件（禁止长时间在 800°C 以下加热）
http://www.kjmti.com/productsA_detail/productId=385.html
采用 B 型热电偶
A.坩埚选择:
石英坩埚:≤1200°C 使用石英管，热处理温度超过 600°C 时，请不要用氧化铝坩埚
http://www.kjmti.com/productsA_detail/productId=376.html
氧化铝≤1800°C 使用刚玉管，热处理温度超过 900°C 时，请不要用莫来石坩埚
http://www.kjmti.com/products_listA1_1/pmcId=1159.html
石 墨 坩 埚 ≤ 2300 °C
http://www.kjmti.com/productsA_detail/productId=1330.html
例如：1、需要对粉末进行 900°C 热处理，选择石英坩埚装载样品。
2、需要将合金在 1600°C 融化，选择氧化铝坩埚。
B.管径的选择:
选择好坩埚后，根据坩埚装载样品后的体积选择合适的炉管管径（一般买炉子会标配有加热炉管）
a.石英管 ≤1200°C （真空环境下最高 1000 度）
http://www.kjmti.com/productsA_detail/productId=364.html
型号 | 管径 | |
科晶 OTF 系列 | OTF-1200X-S | Φ25、Φ50 |
OTF-1200X | Φ50、Φ60、Φ70、Φ80、Φ100、Φ130 | |
科晶 GSL 系列 | GSL-1100X-S | Φ20、Φ50 |
GSL-1100X-6-S | Φ152 | |
GSL-1100X-8.5-S | Φ216 |
b.刚玉管 ≤1800°C （刚玉管不建议真空环境下使用）
http://www.kjmti.com/productsA_detail/productId=374.html
型号 | 管径 | |
科晶 GSL 系列 | GSL-1400X | Φ60、Φ80 |
GSL-1500X | Φ80 | |
GSL-1600X | Φ60、Φ80 | |
GSL-1700X | Φ60 | |
GSL-1750X | Φ60 | |
GSL-1800X | Φ60 |
例如：
d.800°C≤SS310 管:≤1000°C(高压力/真空炉)
e.900°C≤超耐热不锈钢管:≤1000°C(高压力/真空炉)
！！！！多大的炉管放多大的坩埚及样品
3、根据实验要求选择单温区管式加热炉和多温区管式加热炉，多温区较单 温区会设有多个热电偶，n 温区加热炉的恒温区比(n-1)温区的加热炉恒温区要长，部分仪器尺寸变大。
管式炉的温区作用及如何选择？
（1）恒温区的作用：
恒温区一般指加热炉内的某一段区间内各点温度基本一致，样品放置在这一区间内，样品各处受到的温度会基本一致。（中心区域温差小于+ / - 1°C）
（2）恒温区不同带来的变化：
恒温区的增加或减少可能会改变仪器的尺寸，仪器整体会变长变大。
（3）恒温区选择举例
选择合适的恒温区，一定要先根据实验样品的尺寸或实验要求的受热体积来选择
A、实验样品尺寸大于仪器恒温区，需要选择多温区来增加恒温区的长度，
B、根据实验要求需要多个温度梯度时，这就需要多温区来实现
例如：通过物理沉积方式在基片上生长二维材料，原料高温挥发后，利用载气向低温端移动，一定温度下在基片上生长。（相邻两个温区最大温差 300°C）
请注意加热炉加热区分为总加热区长度（加热源能覆盖的区域）和恒温区长度。恒温区总是小于总加热区。请选择一个恒温炉区尺寸超过您样品的加热炉。
整个系统包括加热炉系统、射频电源、供气系统、真空系统、水冷系统、通风系统、氢气报警系统
低真空 CVD 系统 | |
低真空 CVD 系统 | |
PECVD | http://www.kjmti.com/product/14835/type.html |
HPCVD | http://www.kjmti.com/product/14835/type.html |
ALD | http://www.kjmti.com/product/14835/type.html |
http://www.kjmti.com/products_listA1/pmcId=1073.html
科晶 OTF-1200X-4-RTP
最快 50°C/s 升温速度，红外灯管加热
http://www.kjmti.com/productsA_detail/productId=1115.html
科晶 OTF-1200X-50-S
加热炉加热到某一温度后，滑至样品所在区域， 可以提高升温速度，热处理结束，将炉体移开， 使样品所在区域暴露在空气中，快速冷却。
http://www.kjmti.com/productsA_detail/productId=1121.html
④高压力/真空炉:特殊设计的镍铬合金和不锈钢炉管，对样品进行高温高压和真空处处理。http://www.kjmti.com/products_listA1_1/pmcId=628.html
⑤旋转管式炉:炉管旋转式结构可以更均匀的热处理粉末，同时也可以达到粉末包覆的效果。http://www.kjmti.com/products_listA1_1/pmcId=1072.html
5、选择有相关认证的管式炉：
合肥科晶所有炉子的电子元器件均采用 UL 认证器件。
合肥科晶保证加热炉可单台可通过认证（可能会产生部分认证费用，具体请咨询销售）
http://www.kjmti.com/wy4_detail/newsId=483.html
6、选择合适的真空泵低真空系统
http://www.kjmti.com/productsA_detail/productId=430.html
国产高真空系统（分子泵）
http://www.kjmti.com/productsA_detail/productId=1658.html
进口高真空系统（分子泵）
http://www.kjmti.com/productsA_detail/productId=429.html
后期补充。。。
8、如果您还有不明白的地方，请您联系我们
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