4英寸气体分散喷头(用于DIY ALD/CVD系统)
型号:
SH-4
产品概述:
SH-4是一款气体分散喷头,了将前驱气体非常均匀地传输到ALD或CVD腔体。此款产品非常适用到大尺寸基片上(最大4英寸),采用CVD法成膜。
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技术参数产品视频实验案例警示/应用提示配件详情
产品名称

4英寸气体分散喷头-SH-4 (2020.12.05——科晶实验室审核)

产品提示

1.多种配件可选提示  2.科晶实验室邀请提示  3.配件妥善保管提示

技术参数

·材料:顶部法兰为304不锈钢,底部喷头为铝合金

·密封圈:硅胶密封圈

·气管接口:外径14mm,内径6.35mm

·喷头孔径:Φ0.5mm

·喷头流道:特殊的流道设计,确保气体/蒸汽均匀的分散和传输

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外形参数

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认证

若客户出认证费用,本公司保证单台设备通过德国TUV认证或CAS认证。


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质保

·一年保修,终身技术支持。
·特别提示:1.耗材部分如加热元件,石英管,样品坩埚等不包含在内。

            2.因使用腐蚀性气体和酸性气体造成的损害不在保修范围内。

·点击查看售后服务承诺书。


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