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4英寸气体分散喷头(用于DIY ALD/CVD系统)
- 型号:
- SH-4
- 产品概述:
- SH-4是一款气体分散喷头,了将前驱气体非常均匀地传输到ALD或CVD腔体。此款产品非常适用到大尺寸基片上(最大4英寸),采用CVD法成膜。
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技术参数产品视频实验案例警示/应用提示配件详情
产品名称
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4英寸气体分散喷头-SH-4 (2020.12.05——科晶实验室审核) |
产品提示
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1.多种配件可选提示 2.科晶实验室邀请提示 3.配件妥善保管提示 |
技术参数
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·材料:顶部法兰为304不锈钢,底部喷头为铝合金 ·密封圈:硅胶密封圈 ·气管接口:外径14mm,内径6.35mm ·喷头孔径:Φ0.5mm ·喷头流道:特殊的流道设计,确保气体/蒸汽均匀的分散和传输
![3.jpg 3.jpg](/UserFiles/upload/image/20201205/6374277166002823014119640.jpg)
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外形参数
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![5.jpg 5.jpg](/UserFiles/upload/image/20201205/6374277161097751859570175.jpg)
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认证
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若客户出认证费用,本公司保证单台设备通过德国TUV认证或CAS认证。
![图片7.png 图片7.png](/UserFiles/upload/image/20201205/6374277145855857998569021.png)
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质保
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·一年保修,终身技术支持。 ·特别提示:1.耗材部分如加热元件,石英管,样品坩埚等不包含在内。 2.因使用腐蚀性气体和酸性气体造成的损害不在保修范围内。 ·点击查看售后服务承诺书。
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