1100℃管式炉(过渡金属硫族化合物二维CVD层固体前驱体升华剂研究)
关键字:
单温区、预加热、真空
型号:
OTF-1200X-4-NW
产品概述:
OTF-1200X-4-NW是一种紧凑型CVD炉,专为生长各种纳米线而设计,基片最大3英寸. 在法兰的左侧装有一个预热装置,可对输入的气体、液体、固体进行预加热,然后进入 CVD 炉进行纳米线的生长, 设备搭配可滑动的样品架使操作更为简单.这种系统结构适合于在3“直径的衬底上生长宽范围的过渡金属二卤化物(如MoSe2、MoS2…)和宽禁带半导体(如h-BN)层。
免责声明: 本站产品介绍内容(包括产品图片、产品描述、技术参数等)仅用于宣传用途,仅供参考。由于更新不及时和网站不可预知的BUG可能会造成数据与实物的偏差,请勿复制或者截图。如果您对参数有异议,或者想了解产品详细信息及更多参数,请与本公司销售人员联系。本站提供的信息不构成任何要约或承诺,请勿将此参数用于招标文件或者合同,科晶公司会不定期完善和修改网站任何信息,恕不另行通知,请您谅解。 如果您需要下载产品的电子版技术文档,说明书(在线阅览),装箱单,与售后安装条件等文件,请点击上方的附件下载模块中选取。商城产品仅针对大陆地区客户,购买前请与工作人员沟通,以免给您带来不便。
技术参数产品视频实验案例警示/应用提示配件详情
产品名称

·开启式纳米线生长CVD炉--OTF-1200X-4-NW


产品提示

1、多种配件可选提示   2、特殊设备尺寸设备    3、科晶实验室邀请提示    4、配件妥善保管提示


视频

 OTF-1200X-4-NW 1.jpg

         仪表操作视频

产品特点

OTF-1200X-100单区管式炉:

·采用ABB电器元件

·右侧可滑动支架的法兰,方便操作

·采用双层壳体结构并带有风冷系统

·右侧水冷法兰可滑动,便于样品装载

·加热器与炉子之间的左侧水冷法兰能够更好的密封

·炉膛材料采用高纯氧化铝纤维,能很大程度减少能量损失提高加热效率和增加炉膛使用寿命

·左侧的预热系统可对输入的气体、液体、固体或混合物进行预加热,然后通入CVD炉中。

·预热装置的最高工作温度:600℃

·左侧法兰作为气体通道的同时起到密封作用(详细结构请看下图)

 OTF-1200X-4-NW 2.jpg OTF-1200X-4-NW 3.jpg    

         右侧活动法兰                        结构示意图


特别推荐:视频会议产品展示(请点击此链接)


基本参数

加热炉:

·最高温度: 1100℃(≤30min)  工作温度: 1000℃

·推荐升温速率:≤10℃/min

·加热区:440 mm

·热偶:K型热偶  加热元件:掺钼铁铬铝合金

·电压:220V, 额定功率:4KW


预热装置:

·连续工作温度: 0~300°C

·最快升温和降温速度: 10°C/min

·加热区:150 mm

更多参数请联系我们


真空和密封法兰

CVD炉: 

①右法兰:

·水冷可避免密封圈融化

·KF25真空快接更加方便(可与真空泵、波纹管、真空阀等连接)

·滑动使操作更简单:样品可快速的放入和取出

·一个石英样品支架 ( 3英寸 ):与石英挡板滑动法兰连成一体


②左法兰 (在CVD 炉和小加热器之间):装有4个 1/4英寸卡套连结的通气管:

·法兰上有两个独立 1/4英寸接口,可单独将任何气体通入CVD炉

·其中一路通过1/4英寸接口将预热气体通入CVD炉

·另外一路通过1/4英寸口将不加热的气体通入CVD炉(在 CVD 炉内, 通过“T”型结构与加热气体汇合。)


炉体结构&温控

·CVD炉体加热和前驱体(单独控温):

·具有PID/自整定功能和50段可编程的数字控制器

·热电偶:K型热电偶,通过右侧法兰进料,控制炉温。

·控温精度:+/-1°C

 OTF-1200X-4-NW 4.jpg


真空度

·机械泵:10^-2 torr

·分子泵:10^-5 torr


产品尺寸

·1200(L)X450(W)X600(H)mm

·重量约:110kg


认证

·此产品已通过CE认证

  证书编号: M.2021.206.C67997

·若客户出认证费用,本公司保证单台设备通过德国TUV认证或CAS认证

 OTF-1200X-4-NW 12.png

质保期

·一年保修,终身技术支持。

·特别提示:

   1.耗材部分如加热元件,石英管,样品坩埚等不包含在内。

   2.因使用腐蚀性气体和酸性气体造成的损害不在保修范围内。

点击查看售后服务承诺书。


产品在线展示

image.png

image.png 

image.png 

点击图片预约

点击图片预约

点击图片预约


应用技术提示

·购买前请联系我们,确定进出气口以及阀门种类

·由于气瓶内部气压较高,所以向炉管内通入气体时,气瓶上必须安装减压阀,建议在本公司选购减压阀,本公司减压阀量程为0.01MPa-0.1MPa,使用时会更加精确安全

·当炉体温度高于1000℃时,炉管内不可处于真空状态,炉管内的气压需和大气压相当,保持在常压状态

·进入炉管的气体流量需小于200SCCM,以避免冷的大气流对加热石英管的冲击并同时保护炉内温场。

·石英管的长时间使用温度<1100℃

·设备使用过程两边添加管堵,保证恒温区和法兰密封性

·为了获得更高的洁净度和真空度,请选用石英管

警示

·不要将装有溶液的容器放在仪器上,防止造成仪器短路

·如需高温取样,请务必穿戴好安全装置

·炉管内气压不可高于0.02MPa

·对于样品加热的实验,不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热,则需时刻关注压力表的示数,若气压表示数大于0.02MPa,必须立刻打开泄气阀,以防意外发生(如炉 管破裂,法兰飞出等)


可选相关设备

手动挡板阀、水冷机、防腐真空计、真空系统、液体注入系统(MTI)

图片7.png     OTF-1200X-4-NW 6.jpg  OTF-1200X-4-NW 7.png

      数显真空计          手动挡板阀(安装在真空端部)       多种型号水冷机


可选注液:

OTF-1200X-4-NW 8.jpg     OTF-1200X-4-NW 9.jpg    OTF-1200X-4-NW 10.jpg

   带温控加热的注液器            2.4MHz超声雾化器            可加热型注射泵


真空泵系统:

图片8.png



相关产品
公司简介

image.png   image.png   image.png

                   视频会议产品展示                                                 合肥科晶品牌记录片                                                                     公司环境


免责声明: 本站产品介绍内容(包括产品图片、产品描述、技术参数等)仅用于宣传用途,仅供参考。由于更新不及时和网站不可预知的BUG可能会造成数据与实物的偏差,请勿复制或者截图。如果您对参数有异议,或者想了解产品详细信息及更多参数,请与本公司销售人员联系。本站提供的信息不构成任何要约或承诺,请勿将此参数用于招标文件或者合同,科晶公司会不定期完善和修改网站任何信息,恕不另行通知,请您谅解。 如果您需要下载产品的电子版技术文档,说明书(在线阅览),装箱单,与售后安装条件等文件,请点击上方的附件下载模块中选取。商城产品仅针对大陆地区客户,购买前请与工作人员沟通,以免给您带来不便。
附件

Copyright © 2019 合肥科晶材料技术有限公司 版权所有 皖ICP备09007391号-1     皖公网安备 34012302000974号

在线产品展示

设备销售咨询

晶体销售咨询

售后咨询