进口无油真空泵226L/m
关键字:
无油泵
型号:
ACP15
产品概述:
ACP15是一款无油真空泵,其抽速为226L/min。因为泵内无油所以在真空状态下无油雾产生,从而为实验提供了一个洁净的低压环境。特别适合于本公司管式炉配合使用,组成低压CVD系统。
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技术参数产品视频实验案例警示/应用提示配件详情
设备名称

进口无油真空泵226L/m--ACP15  (2020.1.7—科晶实验室审核)

产品提示

科晶实验室邀请提示  图片未及时更新提示  多种配件可选提示

主要特点

·无颗粒污染:优化后的无摩擦抽油模块,没有内部润滑剂,没有碳氢化合物蒸气回流,可提供无油真空环境。转子和定子之间无任何密封,不会产生颗粒。

·高可靠性:泵组件内没有磨损部件,在最苛刻的应用条件下,也能保持长期稳定性和高可靠性。

·恒定性能:变频器驱动电机提供恒定的转速,可保持稳定的泵送速度和极限压力。

·低维护成本:ACP15可运行20000小时,大大降低维护成本。

·可冷凝蒸汽:高流量气体压载端口和可排水消音器允许ACP泵出高达1000克/小时的纯水蒸气。

·配件完整,使用方便。

基本参数

·工作电压:110-240VAC,50/60Hz 

·功率:360W

·系统极限真空压力:2.2x10^-2 torr

      极限真空度会因真空腔体的尺寸不同而不一样

·抽气速率:3.7L/S



更多参数请联系科晶销售部

接口

·进气端接口:KF25

·出气端接口:KF16

产品尺寸

·L 514mm×W 190mm×H 270mm

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产品重量

·23Kg

认证

·若客户出认证费用,本公司保证单台设备通过德国TUV认证或CAS认证。


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质保

一年质保期,终生维护(不包括密封圈、加热元件和石英管)

注意:如果用户认为他们有足够的经验和知识在危险或紧急情况下处理炉膛,则必须在购买时签署责任解除协议。未经安全操作培训,科晶公司不对误用造成的任何损坏负责。腐蚀性和酸性气体造成的任何损坏不在一年保修范围内。

科晶实验室使用机械泵配合管式炉进行烧结实验,实验结果如下:


设备准备

样品烧结前

样品烧结后

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SEM检测:

样品

SEM

白炭黑

Aerosil OX50原粉

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非OX50材料/蜂窝结构1350℃烧结

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管式炉排胶发生碳化,1350℃烧结

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管式炉空气气氛排胶,1500℃烧结

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XRD检测:

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若有疑问或需要更多详细数据请联系科晶实验室


应用提示

·使用前请仔细阅读说明书,防止操作不当将导致仪器损坏。

·为保护真空泵免受冷凝蒸气或小颗粒的损坏,请将冷阱或微粒捕集器连接到泵的前级管上。

·如果使用泵进行CVD实验,必须使用真空过滤器或冷阱来保护真空泵。

·可使用尾气过滤器,减少排放污染物。

·在关闭之前,将泵与安装隔离,并让它在打开气体镇流器的情况下运行1小时。这个程序可去除泵中冷凝的蒸汽,以保持下一次正常运行。

·泵可达到的最终真空水平可根据腔室大小和密封条件而变化。

警示

·真空泵不可以抽腐蚀性或爆炸性气体。

·真空泵不可以抽冷凝蒸气。

·真空泵不可以抽液体。

·真空泵不可以抽粉尘。

·真空泵不可以抽高温气体。

·请不要在潜在的爆炸区域进行操作。

相关可选

·可选用柔性不锈钢真空软管配套使用(波纹管)。(图1)

·可选用高真空手动隔断阀配套使用,采用氟胶圈密封,快卸法兰接口,漏率达5*10-9Pam3/s。(图2)

·可选用冷阱或微粒捕集器,以保护泵免受冷凝蒸气或小颗粒的损坏(图3、图4)

·连接泵与波纹管间需要卡箍。(图5)

·可与科晶管式炉配套使用。(图6)

·可与真空计配套使用。(图7、图8)


配件详情-4.jpg    配件详情-2.JPG  配件详情-5.jpg 配件详情-4.jpg

图1                     图2                     图3                   图4


配件详情-6.jpg      配件详情-6.jpg 配件详情-8.jpg   配件详情-7.jpg

图5                    图6                      图7                    图8

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