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1200℃小型双温区开启式管式炉（可选1或2英寸石英管和法兰）
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1800℃小型真空管式炉 （60mm外径，康耐尔1800级硅钼棒）
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1750℃桌面式真空气氛管式炉（60mm外径，康耐尔1800级硅钼棒）
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1100℃石英管式炉（50mm炉管，带温度校准器和真空泵）
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1400℃箱式炉（3.4L，炉腔尺寸：150*150*150mm）
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导电陶瓷隔膜
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6um厚Cu箔
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甲基吡咯烷酮
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导电石墨粉
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1200度旋转粉末ALD系统
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普通加热平台
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线切割机摇摆机构
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铸铝抛光盘
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弹性样品夹
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精确磨抛控制仪
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自动压力研磨抛光机
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自动精密研磨抛光机
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定向CVD生长炉
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1700℃单温区三通道混气真空管式炉（配73mm氧化铝管和防腐真空计）
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真空储存罐70mL
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双工位定向仪
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磁性材料研制设备
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真空旋转涂层机
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5工位自动提拉涂膜机
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皖公网安备 34012302000974号
