管式炉温区的作用

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管式炉温区的作用

根据实验要求选择单温区管式加热炉和多温区管式加热炉,多温区较单温区设有多个热电偶,n温区加热炉恒温区比(n-1)温区加热炉的恒温区要长,部分仪器尺寸变大。

1)恒温区的作用

恒温区一般指加热炉内的某一温度相同的区间,样品放置在这一区间内,样品各处受到的温度会基本一致。(中心区域温度差小于±1℃)

2)恒温区不同带来的变化

恒温区的增加或减少可能会改变仪器的尺寸,仪器整体会变大或变小。

3)恒温区选择

选择合适的恒温区,一定要先根据样品的尺寸或实验要求的受热体积来选择。

A、实验样品尺寸大于仪器恒温区,需要选择多温区来增加恒温区的长度。

B、根据实验要求需要多个温度梯度时,这就需要多温区来实现。

例如:通过物理沉积方式在基片上生长二维材料,原料高温挥发后,利用载气向低压端移动,一定温度下载基片上生长(相邻两个温区最大温差300℃)

请注意加热炉加热区分为总加热区长度(加热源能覆盖的区域)和恒温区长度。恒温区总是小于加热区。请选择一个恒温区尺寸超过您样品的加热炉。

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管径与坩埚对照表

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如何为CVD设备选型

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